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工控人家園 綜合討論 分享最近發(fā)生的一次設(shè)備故障處理報(bào)告

往事如風(fēng)

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樓主發(fā)表于: 2020-09-26 16:54

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最近發(fā)生的一次設(shè)備故障,刪除敏感章節(jié),截取部分和大家分享交流處理過(guò)程

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三人行者必有我?guī)?，擇其善者而從之

jiaogeishui

我是楊利勇

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1樓發(fā)表于: 2020-10-05 18:40

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4點(diǎn)對(duì)位改成3點(diǎn)對(duì)位的先決條件是，工件的尺寸精度足夠高，曝光機(jī)的MASK是同一件，所以就取決于工件本身的精度，夠高的話，用對(duì)角2點(diǎn)也是可以的

學(xué)無(wú)止境

jiaogeishui

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2樓發(fā)表于: 2020-10-05 18:43

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通常國(guó)外的曝光機(jī)對(duì)位模式都會(huì)做好幾種，2點(diǎn)、3點(diǎn)、4點(diǎn)、不對(duì)位這四種

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